[发明专利]一种基于激光诱发原位化学反应的表面改性装置无效
| 申请号： | 200610011701.0 | 申请日： | 2006-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1844443A | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 金永吉;邵天敏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C8/06 | 分类号： | C23C8/06;C23C8/36;C23C8/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 诱发 原位 化学反应 表面 改性 装置 | ||
【权利要求书】：
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