[发明专利]一种二维扫描精密激光曝光系统无效
| 申请号： | 200610012094.X | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1851557A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 赵立新;王肇志;胡松;唐小萍;严伟;邢薇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二维 扫描 精密 激光 曝光 系统 | ||
【权利要求书】：
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