[发明专利]一种氧化物铁电存储单元及制备方法无效

专利信息
申请号: 200610012370.2 申请日: 2006-01-24
公开(公告)号: CN1835241A 公开(公告)日: 2006-09-20
发明(设计)人: 刘保亭;李锋;程春生;赵庆勋;闫正 申请(专利权)人: 河北大学
主分类号: H01L27/115 分类号: H01L27/115;H01L21/3205;C23C14/35
代理公司: 石家庄汇科专利商标事务所 代理人: 王琪;周大伟
地址: 071002河北省保*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 氧化物 存储 单元 制备 方法
【权利要求书】:
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