[发明专利]供高温力学量传感器用的纳米多晶硅－氮化铝隔膜－硅单晶衬底基片无效
| 申请号： | 200610013089.0 | 申请日： | 2006-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN101005098A | 公开（公告）日： | 2007-07-25 |
| 发明（设计）人： | 井叶之;潘国峰;孙以材 | 申请（专利权）人： | 井叶之 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84;H01L29/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300130天津市红桥*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高温 力学 传感 器用 纳米 多晶 氮化 隔膜 硅单晶 衬底 | ||
【权利要求书】：
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