[发明专利]超大规模集成电路专用纳米硅溶胶的稳定方法无效
| 申请号： | 200610013971.5 | 申请日： | 2006-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1872683A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 刘玉岭;王娟;张西慧;张建新;刘承霖 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | C01B33/158 | 分类号： | C01B33/158;C09G1/02 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 | 代理人： | 肖莉丽 |
| 地址： | 30013*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超大规模集成电路 专用 纳米 硅溶胶 稳定 方法 | ||
【说明书】：
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