[发明专利]ULSI多层铜布线化学机械抛光中碟形坑的控制方法有效
| 申请号： | 200610014300.0 | 申请日： | 2006-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1861320A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 刘玉岭;刘博 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;C09G1/02;C09G1/04 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘英兰 |
| 地址： | 30013*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ulsi 多层 布线 化学 机械抛光 中碟形坑 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
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