[发明专利]一种采用数字干涉仪实施高精度测量微小转角的方法无效
| 申请号： | 200610017030.9 | 申请日： | 2006-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN101109624A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 陈波;高亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B21/22 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 | 代理人： | 赵炳仁 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 数字 干涉仪 实施 高精度 测量 微小 转角 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种采用数字干涉仪实施高精度测量微小转角的方法，其特征在于：第一、准备一台数字干涉仪和一块标准平面镜；第二、将标准平面镜安装在被测转角的物体上；第三、调整测试光路，使数字干涉仪的视场光轴与标准平面镜的光轴重合；第四、用数字干涉仪测试安装在被测物上的标准平面镜初始状态的面形精度PV值1，调整被测物转动后再测标准平面镜的面形精度PV值2；第五、将两次测得的PV值相减的差值Δ·λ代入公式θ≈sinθ≈Δ·λ/D，得到被测转角θ，式中λ为干涉仪的工作波长，D是标准平面镜的直径。
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