[发明专利]一种光电阴极和利用该阴极的真空紫外光电器件的制备工艺无效
| 申请号： | 200610022021.9 | 申请日： | 2006-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN1945776A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 张超;赵安文;于海波 | 申请（专利权）人： | 四川天微电子有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J1/34 | 分类号： | H01J1/34;H01J9/02;H01J9/00 |
| 代理公司： | 成都中亚专利代理有限公司 | 代理人： | 杨保刚 |
| 地址： | 610000四川省成都市东三环路*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光电 阴极 利用 真空 紫外 器件 制备 工艺 | ||
【权利要求书】：
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