[发明专利]一种提高膜厚均匀性的离轴溅射控制方法无效
| 申请号： | 200610022343.3 | 申请日： | 2006-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1962930A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 杜晓松;蒋亚东;李杰;谢光忠;王涛;李伟 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610054四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 均匀 溅射 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
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