[发明专利]防止由阻挡处理对光学元件的污染的方法和设备有效
| 申请号： | 200610024531.X | 申请日： | 2006-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN101034261A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 陈钦裕;张旭升;林世鸿;唐正隆 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐谦;杨红梅 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防止 阻挡 处理 光学 元件 污染 方法 设备 | ||
【说明书】：
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