[发明专利]用于投影曝光装置中的自动位置对准装置和位置对准方法有效
| 申请号： | 200610025447.X | 申请日： | 2006-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN1828431A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 徐兵;闫岩;王鹏程 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 投影 曝光 装置 中的 自动 位置 对准 方法 | ||
【权利要求书】：
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