[发明专利]一种喷淋装置

权利要求书

1.一种喷淋装置，所述喷淋装置由可旋转托台(10)和组合喷头(20)构成；所述可旋转托台(10)设置于所述组合喷头(20)的下方，待处理元件(60)置于所述可旋转托台(10)上方；其特征在于：所述组合喷头(20)由至少两个具有圆周分布的喷头组(30)组成；同一圆周分布的喷头组由同一流量控制器控制，且各喷头流量相同；当所述组合喷头(20)由至少两个具有圆周分布的喷头组(30)组成时，不同圆周分布的喷头组分别由不同的流量控制器控制；利用具有圆周分布的喷头组的组合排列分别为不同区域设定喷淋参数，协调待处理元件各部分与喷淋特定溶液间的反应程度，控制元件图形区内线宽误差的均匀性。

2.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于：所述具有圆周分布的喷头组(30)的各喷头(40)呈圆环状连接。

3.如权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于：所述喷头组(30)间同轴排列。

4.如权利要求3所述的喷淋装置，其特征在于：所述具有同轴圆环状排列的喷头组(30)处于同一平面上。

5.如权利要求3所述的喷淋装置，其特征在于：所述圆环状连接的喷头组(30)内的各喷头(40)在同一圆环上等距，且由同一流量控制器控制，每一喷头(40)流量相同；所述喷头(40)在不同圆环上分别由不同的流量控制器控制。

6.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于：所述具有圆周分布的喷头组(30)内的各喷头(40)呈辐射线状连接。

7.如权利要求6所述的喷淋装置，其特征在于：所述各辐射线处于同一平面内，以相同空间角排列，并会聚于圆心点处。

8.如权利要求7所述的喷淋装置，其特征在于：所述各辐射线上的喷头(40)间等距连接，与圆心点等距的各喷头(40)呈圆环状排列。

9.如权利要求7所述的喷淋装置，其特征在于：所述连接在同一圆环上的喷头(40)间等距，且由同一流量控制器控制，每一喷头(40)流量相同；所述连接在不同圆环上喷头(40)分别由不同的流量控制器控制。