[发明专利]Ⅱ－Ⅵ族半导体材料保护侧边缘的表面抛光方法有效
| 申请号： | 200610026935.2 | 申请日： | 2006-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN1883881A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 方维政;徐琰;孙士文;周梅华;刘从峰;涂步华;杨建荣;何力 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 田申荣 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体材料 保护 侧边 表面 抛光 方法 | ||
【权利要求书】：
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