[发明专利]光刻机同步时序控制串行数据通讯方法和系统及应用有效
| 申请号： | 200610027273.0 | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1851559A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 池峰;陈勇辉;林科;吴小健 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F13/42 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 同步 时序 控制 串行 数据通讯 方法 系统 应用 | ||
【说明书】：
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