[发明专利]一种针对低介电常数材料的去胶工艺方法有效
| 申请号： | 200610027857.8 | 申请日： | 2006-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN1868615A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 朱骏 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 200070上海市张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 针对 介电常数 材料 工艺 方法 | ||
【说明书】：
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