[发明专利]微细电加工的微细电极在线检测方法有效
| 申请号： | 200610027965.5 | 申请日： | 2006-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN1865916A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 赵万生 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00;G01N21/84;G01B21/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微细 加工 电极 在线 检测 方法 | ||
【说明书】：
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