[发明专利]一种化学机械研磨机台化学液供给装置

权利要求书

1.一种化学机械研磨机台化学液供给装置，具有供给手臂和喷嘴，其特征在于，还具有：至少一汽缸，以控制所述供给手臂的横向运动；至少一个步进马达，以控制所述供给手臂的纵向运动；控制软件单元一，控制所述汽缸的横向运动；控制单元二，控制所述步进马达从而控制化学研磨液喷嘴的径向运动。

2.根据权利要求1所述的化学机械研磨机台化学液供给装置，其特征在于，所述汽缸与所述供给手臂通过传动轴相连，当汽缸延伸时推动供给手臂往里横向运动，当汽缸收缩时拉动手臂往外横向运动；所述步进马达与所述供给手臂通过传动轴或齿轮相连。