[发明专利]改善化学机械研磨终点检测及检测前道工艺的方法有效
| 申请号： | 200610030313.7 | 申请日： | 2006-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN101130235A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 王海军;谢煊;程晓华;杨欣 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/10 | 分类号： | B24B49/10 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改善 化学 机械 研磨 终点 检测 工艺 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种改善化学机械研磨终点检测及检测前道工艺的方法，其特征在于包括如下步骤：
在研磨程序的软件设定中，设定最小研磨时间；
当终点检测时记录主研磨步骤研磨时间；
将该研磨时间和所述的设定最小研磨时间和最大研磨时间进行比较，当它在设定的最小研磨时间和最大研磨时间之内，则正常；
当该研磨时间大于等于最大研磨时间或小于最小研磨时间，则输出信号至报警单元报警，并使机台停止研磨，进行处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华虹NEC电子有限公司，未经上海华虹NEC电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200610030313.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于透光率法评定阻垢剂性能的测量装置
- 下一篇：治疗截瘫的中药
