[发明专利]硅各向异性腐蚀过程模拟的元胞自动机方法无效
| 申请号： | 200610037762.4 | 申请日： | 2006-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1810628A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 周再发;黄庆安;李伟华 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 各向异性 腐蚀 过程 模拟 自动机 方法 | ||
【说明书】：
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