[发明专利]高介电系数栅电介质材料铝酸钛薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200610038030.7 | 申请日： | 2006-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN1862827A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 刘治国;石磊 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01L29/51 | 分类号： | H01L29/51;H01L21/283;H01L21/314;C23C14/22 |
| 代理公司： | 南京苏高专利事务所 | 代理人： | 阙如生 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高介电 系数 电介质 材料 铝酸钛 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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