[发明专利]射频微电子机械双膜桥并联电容式开关及其制备方法无效
申请号: | 200610039596.1 | 申请日: | 2006-04-17 |
公开(公告)号: | CN1832081A | 公开(公告)日: | 2006-09-13 |
发明(设计)人: | 廖小平;董乔华 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | H01H59/00 | 分类号: | H01H59/00;H01H49/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人: | 叶连生 |
地址: | 21009*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射频 微电子 机械 双膜桥 并联 电容 开关 及其 制备 方法 | ||
【说明书】:
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