[发明专利]含硅偶联剂共聚物成膜树脂及其有机防反射涂膜有效
申请号: | 200610039656.X | 申请日: | 2006-04-19 |
公开(公告)号: | CN1847274A | 公开(公告)日: | 2006-10-18 |
发明(设计)人: | 冉瑞成;沈吉;庄学军 | 申请(专利权)人: | 苏州华飞微电子材料有限公司 |
主分类号: | C08F220/10 | 分类号: | C08F220/10;C09D133/04;G03F7/11 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 马明渡 |
地址: | 215011江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 含硅偶联剂 共聚物 树脂 及其 有机 反射 | ||
【说明书】:
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