[发明专利]蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种蒸镀装置，特别是一种用于蒸镀高温金属的蒸镀装置。

背景技术

在现代工业蒸镀技术领域，比较常见的一种是采用蒸发舟装置用于金属的蒸镀工艺。现有的工艺技术，是采用电阻加热(电极通电给蒸发舟供热)，使舟中的金属熔融，直至蒸发后附着于被镀物上形成所需的镀层。

现有的蒸镀装置中，蒸发舟采用的是耐特高温的材料，可为无机材料或金属，如氮化硼、钽、钼等，电极支撑需要采用导电性能比较好的金属材料，如：铜、银等。但是，在工业生产的蒸镀过程中，及容易出现蒸发舟中的熔融金属溢出并流到金属电极上，导致金属电极被熔蚀，这种熔融通常是物理腐蚀，物理腐蚀是指金属由于单纯的物理溶解作用而熔融金属的腐蚀，如固态金属与熔融液态金属(如铝、铅、锌、钠、汞等)相接触引起的金属溶解或开裂引起的破坏。

图1为现有的蒸镀装置图，图2为金属电极被腐蚀的示意图。

因此造成的严重后果包括：一方面，致使形成的蒸镀材料因掺有被熔融的金属电极材料而不纯，严重影响了产品的质量；另外，同时也导致了蒸镀装置被破坏和加速老化。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于克服上述现有蒸镀装置的缺点，提供一种适用于蒸镀高温金属的装置。

本发明的蒸镀装置：包括一个带有蒸发槽的舟体和与舟体相连的左、右舟支座，其舟支座上带有保护套。

舟支座上的保护套采用耐特高温的金属或金属合金制造，优选为钽、钼、铌、钛、钨，或选自钽、钼、铌、钨或钛的合金。

舟支座上的保护套位于支座与蒸发舟的接触面及其相邻的两个侧面，保护套的形状与舟支座的形状一致，尺寸为刚好套在舟支座上。

本发明在蒸发舟支座上设计了保护套，避免了熔融的蒸镀金属对舟支座的熔蚀，从而保证了蒸镀装置的正常使用，同时避免了电极金属材料被熔融影响蒸镀材料的纯度。

附图说明

图1为现有的蒸镀装置示意图。

图2为模拟金属电极被腐蚀的示意图，图上的标号1表示舟支座可能被腐蚀的位置。

图3为本发明的优选实施例1的蒸镀装置示意图。

图4中(a)为实施例1中蒸发舟支座图，(b)为舟支座保护套图。

具体实施方式：

实施例1

图3为本发明的优选实施例1的蒸镀装置示意图，图上的标号10为蒸发舟，其材料为氮化硼；20为蒸发舟盖板，其材料为耐特高温的金属钽；30为蒸发舟支座，其材料为导电性能良好的金属材料铜。图上的标号2为舟支座保护套，其材料使用金属钽。

根据蒸发舟支座的几何尺寸，制作舟支座保护套的具体方法如下：

对照图4，a图中标出了现行的舟支座的尺寸：长为L、宽为B、高为H；支座上预留的放置蒸发舟的槽的尺寸为：宽为b、高为h；那么舟支座保护套的尺寸应该是(1/2L*H)+(1/2L*H)+(B*H-b*h)，如b图中所标注。

舟支座保护套的厚度为2毫米。

将制备好合适尺寸的保护套利用螺栓固定在舟支座上。

从本实施例可以看出，将保护套加装在蒸发舟支座上后，保护套完全覆盖住了蒸发舟中熔融的金属可能溢出而流到支座上的位置，因为舟支座需要使用导电性好的金属铜，但铜不耐蚀，有了钽材的支座保护套，可避免了熔融的蒸镀金属对铜的熔蚀，从而保证了蒸镀装置的正常使用，同时避免了铜电极被熔融而影响蒸镀材料的纯度。

尽管结合优选实施例对本发明进行了说明，但本发明并不局限于上述实施例和附图，应当理解，在本发明构思的引导下，在不脱离本发明的精神和范围内，本领域技术人员只进行的少许修改和润饰，均为本发明的保护范围所覆盖。