[发明专利]低成本制作复杂三维微结构或微器件方法无效
| 申请号： | 200610042831.0 | 申请日： | 2006-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN1857990A | 公开（公告）日： | 2006-11-08 |
| 发明（设计）人： | 兰红波;丁玉成;刘红忠;卢秉恒 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李郑建 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低成本 制作 复杂 三维 微结构 器件 方法 | ||
【说明书】：
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