[发明专利]一种制备不开裂二氧化钛膜的方法有效
| 申请号： | 200610049186.5 | 申请日： | 2006-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN1830809A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 赵高凌;吴韡;韩高荣 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C01G23/053 | 分类号： | C01G23/053;C01G23/08;H01L21/3205;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 开裂 氧化 方法 | ||
【说明书】：
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