[发明专利]一种低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器无效
| 申请号： | 200610050514.3 | 申请日： | 2006-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN101064197A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 韩建强;李青;李昕欣;王跃林;韩安太;孙延伟 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G12B21/00 | 分类号： | G12B21/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 温度 交叉 灵敏度 悬臂梁 谐振器 | ||
【权利要求书】：
1.一种低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器，采用二氧化硅/硅或二氧化硅/氮化硅双层结构，其特征在于：二氧化硅/硅双层结构微悬臂梁谐振器的硅层和二氧化硅层厚度之比是1.1～1.7，二氧化硅/氮化硅双层结构微悬臂梁谐振器的二氧化硅层和氮化硅层厚度之比是0.9～1.2。
2.据权利要求1所述低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器，其特征在于：其中的二氧化硅由热氧化法生长，氮化硅由低压化学气相淀积法(LPCVD)制作。
3.据权利要求1所述二氧化硅/硅或二氧化硅/氮化硅双层结构的低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器的激励方式可以为电磁激励、静电激励、逆压电激励、电热激励和光热激励之一；其检测方式可以为压电拾振、电容拾振、电磁拾振、光信号拾振以及压敏电阻拾振之一。
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