[发明专利]半导体设备和使用该设备的温度检测方法无效
| 申请号： | 200610051539.5 | 申请日： | 2006-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1851249A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 西川睦雄;上柳胜道 | 申请（专利权）人： | 富士电机电子设备技术株式会社 |
| 主分类号： | F02D35/00 | 分类号： | F02D35/00;H01L21/822 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体设备 使用 设备 温度 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
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