[发明专利]一种电阻加热垂直多坩埚晶体下降法生长系统无效
申请号: | 200610052784.8 | 申请日: | 2006-08-04 |
公开(公告)号: | CN1920116A | 公开(公告)日: | 2007-02-28 |
发明(设计)人: | 万尤宝;黄国松;张建新 | 申请(专利权)人: | 嘉兴学院;嘉兴市晶英光电子技术有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人: | 陈小良 |
地址: | 314000浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电阻 加热 垂直 坩埚 晶体 下降 生长 系统 | ||
【说明书】:
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