[发明专利]化学机械研磨用水系分散体及研磨方法、调制用的试剂盒无效
| 申请号： | 200610056893.7 | 申请日： | 2006-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN1831076A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 内仓和一;服部雅幸;川桥信夫 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苗堃;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 水系 散体 方法 调制 试剂盒 | ||
【说明书】：
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