[发明专利]激光内雕装置

权利要求书

1.一种激光内雕装置，所述激光内雕装置包括：

用于承载待加工物质的工作台；

用于产生预定波长的激光束的激光发生器；

用于将所述激光束汇聚到所述待加工物质表面下以形成破坏所述待加工物质的内部特性的激光汇聚点的光束汇聚机构；以及

用于相对所述待加工物质传动所述激光汇聚点的传动机构，

其特征在于：所述激光束的工作波长在紫外范围。

2.根据权利要求1所述的激光内雕装置，其特征在于：所述激光束的工作波长等于或小于0.355μm。

3.根据权利要求1所述的激光内雕装置，其特征在于：所述激光发生器为三倍频激光器。

4.根据权利要求3所述的激光内雕装置，其特征在于：所述三倍频激光器的两端设置有第一和第二反射镜，所述第一和第二反射镜形成第一谐振腔，在所述第一谐振腔的第一和第二拐角点分别设置有用于偏转所述第一谐振腔内的光路的第三和第四反射镜，在所述第一反射镜和相邻的所述第三反射镜之间的设置有用于产生在所述第一谐振腔内振荡的基频激光的激光器模块以及对所述基频激光进行调制的调制器，在所述第三和第四反射镜之间设置有对所述基频激光进行倍频的倍频器件以及与所述第二反射镜形成倍频激光的第二谐振腔的谐波镜，在所述第四反射镜和所述第二反射镜之间设置有对所述基频激光和所述倍频激光进行合频的合频器件，其中所述第四反射镜和所述第二反射镜形成合频激光的第三谐振腔并且所述第四反射镜作为所述合频激光的输出镜。

5.根据权利要求4所述的激光内雕装置，其特征在于：所述调制器为声光调制器。

6.根据权利要求4所述的激光内雕装置，其特征在于：所述激光器模块为能够产生1.06μm波长激光的激光二极管泵浦的固体激光器模块。

7.根据权利要求1所述的激光内雕装置，其特征在于：所述光束汇集机构为对所述激光束进行聚焦的聚焦透镜。

8.根据权利要求1所述的激光内雕装置，其特征在于：所述传动机构包括传动所述激光束在预定平面上进行扫描的二维传动机构以及在垂直于所述预定平面的方向上传动所述工作台的一维传动机构。

9.根据权利要求5所述的激光内雕装置，其特征在于：所述二维传动机构为具有至少两个反射振镜的振镜扫描器。

10.根据权利要求1所述的激光内雕装置，其特征在于：所述待加工物质包含有二氧化硅。