[发明专利]大幅面激光标刻太阳能电池

权利要求书

1.一种大幅面激光标刻太阳能电池的方法，由电脑控制激光发生器和载物工作台，包括工作电源，冷却系统，其特征还包括电脑程序控制，幅面为400mm-600mm激光振镜扫描系统；X-Y轴丝杆及伺服电机系统，将待刻基片按程序分别以X、Y轴向等分n×m相邻的(400mm×600mm)×(400mm×600mm)标刻区域；由激光振镜扫描系统，依次对各标刻区域导入的图形标刻，各标刻区域图形衔接，形成基片总体，当n＝m等于1时(n和m是自然数)，X-Y轴工作台停止工作。

2.根据权利要求1所述的大幅面激光标刻太阳能电池的方法，其特征是所说激光振镜扫描系统装在固定架Z轴悬臂上，由电脑控制X～Y丝杆及伺服电机系统，待刻基片沿X或Y丝杆轴向移动一个标刻区域的宽度，激光振镜扫描系统启动，在标刻区域内标刻；直至标刻完成n×m等份标刻区域。

3.根据权利要求1或2所述的大幅面激光标刻太阳能电池的方法，其特征在于所说激光振镜扫描系统，标刻范围设定为500mm×500mm，所说基片幅面为1000mm×2000mmm，将基片放置在X-Y轴丝杆交联平台上，启动激光振镜扫描系统，可多幅面标刻，其中n＝4，m＝2，为8等份标刻区域。

4.根据权利要求3所述的大幅面激光标刻太阳能电池的方法，其特征是所说待标刻的基片是非晶硅薄膜太阳能电池，标刻区域内基片透明导电膜面朝上，启动激光振镜大幅面红外光激光标刻系统，导入前电极图形，进行标刻，得到前电极相邻图形间绝缘隔离线宽度为0.1～0.4mm，绝缘电阻大于2MΩ。

5.根据权利要求3所述的大幅面激光标刻太阳能电池的方法，其特征是所说待刻基片是非晶硅薄膜太阳能电池，在标刻区域内，基片膜面朝下，导入电池非晶硅标刻图形，启动激光振镜大幅面红外光激光标刻系统，标刻非晶硅除去薄膜层，非晶硅图形和前电极图形隔离线边缘间距为0.1～0.3mm。

6.根据权利要求3所述的大幅面激光标刻太阳能电池的方法，其特征是所说待刻基片是非晶硅薄膜太阳能电池，在标刻区域内，基片铝层膜面朝下，启动激光振镜大幅面绿激光标刻系统，标刻铝背电极图形。

7.根据权利要求3所述的大幅面激光标刻太阳能电池的方法，其特征是所说待刻的基片是非晶硅薄膜太阳能电池，将已制作好可焊电极的基片膜面朝上放置到标刻区域内，启动激光振镜大幅面红外光激光标刻系统，导入非晶硅薄膜太阳能电池视窗标刻图形，标刻非晶硅层，制作出透明视窗。

8.一种大幅面激光标刻的太阳能电池，包括电脑控制激光扫描工作系统、激光发生器，载物工作平台，工作电源，冷却系统，其特征在于电脑控制幅面为400mm-600mm的激光振镜扫描系统；激光振镜扫描系统装在固定架Z轴悬臂上，程序控制

X、Y轴丝杆及伺服电机系统，将待刻的基片分别以X、Y轴向等分成n×m相邻的(400mm×600mm)×(400mm×600mm)标刻区域；

激光振镜扫描系统依次对各区域进行标刻，各相邻标刻区域图形的交界处衔接形成基片总体，当n＝m等于1时，X、Y轴丝杆停止工作，n和m是自然数。

9.根据权利要求8所述的大幅面激光标刻的太阳能电池，其特征是所说的待刻的基片是非晶硅薄膜太阳能电池，激光振镜扫描系统的标刻范围设定为500mm×500mm，基片幅面1000mm×2000mmm，n＝4，m＝2，标刻区域为8等分，基片在X-Y轴交联平台上多幅面标刻；

前电极图形：在标刻区域内基片的ITO/ZnO或SnO₂透明导电膜面朝上，导入前电极标刻图形，启动大幅面红外光激光标刻系统，前电极相邻图形间绝缘隔离线宽度为0.1～0.4mm，绝缘电阻大于2MΩ；

非晶硅图形：在标刻区域内基片非晶硅膜面朝下，导入前电极标刻图形，启动大幅面红外光激光标刻系统，非晶硅图形和前电极图形隔离线边缘间距为0.1～0.3mm；

铝背电极图形：在标刻区域内基片铝层膜面朝下，导入铝背电极图形，启动大幅面绿激光标刻系统，刻除铝膜，铝背电极图形和非晶硅图形隔离线边缘间距为0.1～0.3mm。

10.根据权利要求8所述的大幅面激光标刻的太阳能电池，其特征是所说的待刻基片是非晶硅薄膜太阳能电池，激光振镜扫描系统的标刻范围设定为360mm×410mm，基片幅面355.6mm×406.4mm，n＝1，m＝1，基片在或Y轴平台上单幅面标刻；

前电极图形：基片透明导膜面朝上，导入电池前电极标刻图形，启动大幅面红外光激光标刻系统，刻除透明导电膜，前电极相邻图形间绝缘隔离线宽度为0.1～0.4mm，绝缘电阻大于2MΩ；

非晶硅图形：非晶硅层基片膜面朝下，导入电池非晶硅标刻图形，启动大幅面绿激光标刻系统，非晶硅图形和前电极图形隔离线边缘间距为0.1～0.3mm；

透明视窗制作：可焊电极的基片膜面朝上，导入电池透明视窗标刻图形，启动大幅面红外光激光标刻系统，激光波长1064nm，功率30-50瓦，声光频率15-35KHz。