[发明专利]具有横梁结构的器件和半导体器件无效
申请号: | 200610063988.1 | 申请日: | 2006-12-20 |
公开(公告)号: | CN1986384A | 公开(公告)日: | 2007-06-27 |
发明(设计)人: | 池桥民雄 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00;H01L41/09 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 横梁 结构 器件 半导体器件 | ||
【说明书】:
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