[发明专利]一种用于离子注入机的高压自动放电装置有效
| 申请号： | 200610065119.2 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN101038851A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 伍三忠;彭立波;孙雪平;何科峰;文超 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265;H01L21/425 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡静;曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子 注入 高压 自动 放电 装置 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司，未经北京中科信电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200610065119.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：编接电缆的方法和装置
- 下一篇：螺旋式自循环生物反应器
