[发明专利]洗涤装置及洗涤方法无效
| 申请号： | 200610065164.8 | 申请日： | 2006-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1840247A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 泽木晃;河野通久 | 申请（专利权）人： | 株式会社华祥 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/12;B08B13/00;F26B3/02;B08B11/00;B08B11/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋;王凤桐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 洗涤 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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