[发明专利]监控对衬底晶片的污染的方法和设备有效
| 申请号： | 200610065541.8 | 申请日： | 2006-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN1834638A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 阿诺·法夫尔;雷米·托洛特;格扎维埃·梅泰;让·皮埃尔·德比奥勒 | 申请（专利权）人： | 阿尔卡特公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N27/64;G01N1/22;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 监控 衬底 晶片 污染 方法 设备 | ||
【权利要求书】：
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