[发明专利]半导体装置制造用粘合薄片、半导体装置及其制造方法有效
申请号: | 200610066402.7 | 申请日: | 2006-03-28 |
公开(公告)号: | CN1847347A | 公开(公告)日: | 2006-10-18 |
发明(设计)人: | 佐藤健;桥本展宏;山井敦史 | 申请(专利权)人: | 株式会社巴川制纸所 |
主分类号: | C09J7/02 | 分类号: | C09J7/02;H01L21/00;H01L21/50 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 制造 粘合 薄片 及其 方法 | ||
【说明书】:
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