[发明专利]单闸极的非挥发性内存及其操作方法有效

专利信息
申请号: 200610066471.8 申请日: 2006-04-03
公开(公告)号: CN101051639A 公开(公告)日: 2007-10-10
发明(设计)人: 林信章;黄文谦;杨明苍;张浩诚;吴政颖 申请(专利权)人: 亿而得微电子股份有限公司
主分类号: H01L27/115 分类号: H01L27/115;H01L21/8247;G11C16/02
代理公司: 北京挺立专利事务所 代理人: 皋吉甫
地址: 台湾省新竹县*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 单闸极 挥发性 内存 及其 操作方法
【权利要求书】:

1.一种单栅极的非挥发性内存,包括:

一半导体基底;

一晶体管,包含一第一介电层、一第一导电栅极与复数个第一 离子掺杂区,该第一介电层位于该半导体基底表面,该第一导电栅 极迭设于该第一介电层上方,该些第一离子掺杂区位于该第一导电 栅极的两侧分别形成源极及漏极;及

一电容结构,包含一第二介电层、一第二导电栅极与一第二离 子掺杂区,该第二介电层位于该半导体基底表面,该第二导电栅极 迭设于该第二介电层上方,该第二离子掺杂区位于该第二介电层一 侧,且该第一导电栅极与该第二导电栅极为隔离且为电连接,作为 单浮接栅极;

进一步包含一第三离子掺杂区,设于该半导体基底内并位于该 些第一离子掺杂区下方,且该第三离子掺杂区与该第二离子掺杂区 掺杂同型的离子;

进一步包含一隔离井,设于该半导体基底内并位于该第三离子 掺杂区下方,该隔离井与该第二离子掺杂区掺杂第一型的离子, 该第三离子掺杂区与该半导体基底掺杂第二型的离子,且该第一 型的离子与该第二型的离子是相异的。

2.如权利要求1所述的单栅极的非挥发性内存,其特征在于:该半 导体基底为P型半导体基底或N型半导体基底。

3.如权利要求1所述的单栅极的非挥发性内存,其特征在于:该第 一离子掺杂区与该第二离子掺杂区掺杂第一型的离子,而该半导 体基底则掺杂第二型的离子,且该第一型的离子与该第二型的离 子是相异的。

4.如权利要求3所述的单栅极的非挥发性内存,其特征在于:该半 导体基底为P型半导体基底,则该第一离子掺杂区及第二离子掺 杂区为N型掺杂区。

5.如权利要求3所述的单栅极的非挥发性内存,其特征在于:该半 导体基底为N型半导体基底,则该第一离子掺杂区及该第二离子 掺杂区为P型掺杂区。

6.如权利要求1所述的单栅极的非挥发性内存,其特征在于:该第 三离子掺杂区延伸至该第二离子掺杂区下方。

7.如权利要求1所述的单栅极的非挥发性内存,其特征在于:该半 导体基底为N型半导体基底,则该第二离子掺杂区及该第三离子 掺杂区为P型掺杂区。

8.如权利要求1所述的单栅极的非挥发性内存,其特征在于:该半 导体基底为P型半导体基底,则该第二离子掺杂区及该第三离子 掺杂区为N型掺杂区。

9.如权利要求2所述的单栅极的非挥发性内存,其特征在于,该单 栅极的非挥发性内存之操作方法包括:

于该P型半导体基底、该源极、该漏极与该第二离子掺杂区上 分别施加一基底电压Vsub、一源极电压Vs、一漏极电压Vd与一控 制栅极电压Vc,并满足下列条件:

写入时,满足Vsub为接地;

Vd>Vs>0;及

Vc>Vs>0;及

抹除时,满足Vsub为接地;及

Vd>Vc>Vs≧0。

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