[发明专利]低非线性误差的位移测量干涉仪无效
| 申请号： | 200610066827.8 | 申请日： | 2006-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1854678A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 威廉·克莱·施卢赫特尔;罗伯特·托德·贝特 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 非线性 误差 位移 测量 干涉仪 | ||
【权利要求书】：
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