[发明专利]等离子体处理装置和方法无效
| 申请号： | 200610066914.3 | 申请日： | 2006-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1856211A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 北村昌幸;平山昌树;大见忠弘 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 方法 | ||
【说明书】：
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