[发明专利]晶片承载盘的检测方法无效
| 申请号： | 200610066936.X | 申请日： | 2006-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101046372A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 卢一成 | 申请（专利权）人： | 南茂科技股份有限公司;百慕达南茂科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片 承载 检测 方法 | ||
【说明书】：
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