[发明专利]光学元件、曝光设备和器件制造方法无效
| 申请号： | 200610071568.8 | 申请日： | 2006-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1841209A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 山本纯正 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李春晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 元件 曝光 设备 器件 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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