[发明专利]高亮度发光二极管及其制造方法无效
申请号: | 200610072421.0 | 申请日: | 2006-04-11 |
公开(公告)号: | CN101055906A | 公开(公告)日: | 2007-10-17 |
发明(设计)人: | 倪英嘉;倪国烟;洪明正 | 申请(专利权)人: | 汉光科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 钟晶 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 亮度 发光二极管 及其 制造 方法 | ||
1.高亮度发光二极管,包括:
透明基板,其是由包含砷化铝镓(AlxGa1-xAs)的材料所形成;
发光层,其是生长于该透明基板上,且由包含磷化铝镓铟(AlGaInP)的材料所形成;
窗层,其是生长于该发光层上;
上电极层,其是与该窗层形成欧姆接触;以及
下电极层,其是与该透明基板形成欧姆接触,
其中,该透明基板材料的分子式AlxGa1-xAs中的x值是设定为会使该透明基板,对该发光层所发出特定波长的光,具有高能隙的透光度的数值,且该窗层是用来增进该上电极层导通至该发光层的电流扩散效果。
2.如权利要求1所述的高亮度发光二极管,其中,所述透明基板的厚度是介于50至100微米(μm)之间。
3.如权利要求1所述的高亮度发光二极管,其中,所述窗层是由包含III-V族化合物半导体的材料所形成的高能隙透光结构。
4.如权利要求3所述的高亮度发光二极管,其中,所述窗层的材料是磷化镓(GaP)。
5.如权利要求4所述的高亮度发光二极管,其中,所述窗层的厚度是介于2至150微米之间。
6.高亮度发光二极管的制造方法,包括:
(a)利用磊晶技术,在基板上生长包括砷化铝镓(AlxGa1-xAs)的第一磊晶层,其中,所述第一磊晶层的AlxGa1-xAs中的x值是设定为会使所述透明基板,对所述发光层所发出特定波长的光,具有高能隙的透光度的数值;
(b)利用有机金属气相结晶法,在所述第一磊晶层上生长包括磷化铝镓铟(AlGaInP)的第二多层磊晶层,作为发光结构层;
(c)利用有机金属气相结晶法,在所述第二磊晶层上生长包含III-V族化合物半导体的第三磊晶层;
(d)利用蚀刻技术将所述基板移除;以及
(e)在所述第三磊晶层的上表面形成具有特定图案的电极层,以作为所述高亮度发光二极管的上电极;以及
(f)在所述第一磊晶层的下表面形成具有特定图案的电极层,以作为所述高亮度发光二极管的下电极,其中,上、下电极层与其相邻的磊晶层形成欧姆接触。
7.如权利要求6所述的高亮度发光二极管制造方法,其中,所述(a)步骤中,所述磊晶技术是液相磊晶技术。
8.如权利要求6所述的高亮度发光二极管制造方法,其中,所述(a)步骤中,所述基板的材料是包括砷化镓(GaAs)。
9.如权利要求6所述的高亮度发光二极管制造方法,其中,所述(a)步骤中,所述第一磊晶层的厚度是介于50至100微米(μm)之间。
10.如权利要求6所述的高亮度发光二极管制造方法,其中,所述(a)步骤中,所述x值的范围是介于0.45至0.9之间。
11.如权利要求10所述的高亮度发光二极管制造方法,其中,所述x值是0.8。
12.如权利要求6所述的高亮度发光二极管制造方法,其中,所述(c)步骤中,所述第三磊晶层的材料包括磷化镓(GaP)。
13.如权利要求12所述的高亮度发光二极管制造方法,其中,所述第三磊晶层的厚度是介于2至150微米之间。
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