[发明专利]用于光学临近修正的方法和系统有效
| 申请号： | 200610073023.0 | 申请日： | 2006-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN1869819A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 马哈拉·马克赫吉;斯科特·M·曼斯菲尔德;艾伦·E·罗森布拉特;卡费·莱 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;G06F17/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 酆迅 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 搜索关键词： | 用于 光学 临近 修正 方法 系统 | ||
【说明书】：
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