[发明专利]曝光方法和网目调型移相掩模无效
| 申请号： | 200610073208.1 | 申请日： | 2006-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN1845008A | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 谷口幸夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社液晶先端技术开发中心 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 方法 网目 调型移相掩模 | ||
【说明书】：
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