[发明专利]距离估计装置、异常检测装置、温度调节器及热处理装置无效
| 申请号： | 200610073286.1 | 申请日： | 2006-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN1847786A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 山田隆章;南野郁夫;尾崎史典 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/16 | 分类号： | G01B21/16;H01L21/00;H01L21/324;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邵亚丽;李晓舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 距离 估计 装置 异常 检测 温度 调节器 热处理 | ||
【说明书】：
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