[发明专利]配备有像差校正装置的粒子光学器具有效
| 申请号： | 200610074091.9 | 申请日： | 2006-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN1847913A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | A·亨斯特拉 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G02B21/02 | 分类号： | G02B21/02;G02B7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;张志醒 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 配备 有像差 校正 装置 粒子 光学 器具 | ||
【权利要求书】：
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