[发明专利]半导体装置及其制造方法有效
申请号: | 200610074701.5 | 申请日: | 2003-04-23 |
公开(公告)号: | CN1855469A | 公开(公告)日: | 2006-11-01 |
发明(设计)人: | 野间崇;篠木裕之;高井信行;北川胜彦;德重利洋智;太田垣贵康;安藤达也;沖川满 | 申请(专利权)人: | 三洋电机株式会社 |
主分类号: | H01L23/485 | 分类号: | H01L23/485;H01L23/12;H01L21/60;H01L21/28 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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