[发明专利]基板移运装置

权利要求书

1、一种基板移运装置，包括：

一基座，其一端装设在已固定的装置上，另一端由机械手臂装设其上；

一机械手臂，装设在基座上，并其上装设有夹爪，并其将所需移动的基板撑起并移动至基板搬运架上；

一夹爪，连结于该机械手臂上；

一基板搬运架，其上装设有一撑板，其利用撑板将机械手臂搬移的基板移运至该基板的置放位置；

一撑板，连结于该基板搬运架上，用以撑起及支撑住该基板；

其特征在于：

该撑板上有多数个吸嘴，将放置的基板稳固吸附加以移运，且该撑板为可配合基板大小、数量移运的复数个撑板，供以同时间移运不同的基板于配料盘上。

2、如权利要求1所述的一种基板移运装置，其夹爪为固定式夹爪，夹爪数为固定不变。

3、如权利要求1所述的一种基板移运装置，其夹爪为伸缩式夹爪，可依照所需移运的基板大小与数量伸缩变换夹爪数。

4、如权利要求1所述的一种基板移运装置，其夹爪为可更换式夹爪，其夹爪可照所需移运的基板大小与数量更变换所配合的夹爪。

5、如权利要求1所述的一种基板移运装置，其撑板为独立式撑板，可依照所需移运的基板大小与数量自动移动动独立的撑板移运基板。

6、如权利要求1所述的一种基板移运装置，其撑板为组立式撑板，可依照所需移运的基板大小与数量自动移动动组立(多个撑板为一组)的撑板移运基板。

7、如权利要求1所述的一种基板移运装置，其撑板上的吸嘴为软式吸嘴。

8、如权利要求1所述的一种基板移运装置，其撑板上的吸嘴为硬式吸嘴。

9、如权利要求1所述的一种基板移运装置，其撑板上的吸嘴为加装弹簧机构的软式吸嘴。

10、如权利要求1所述的一种基板移运装置，其撑板上的吸嘴为加装弹簧机构的硬式吸嘴。