[发明专利]电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台有效
| 申请号： | 200610076247.7 | 申请日： | 2006-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN1838330A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | 汪劲松;朱煜;曹家勇;尹文生;段广洪;杨一博 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;G12B9/10;B25H1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁力 并联 驱动 平面 自由度 精密 微动 | ||
【权利要求书】：
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