[发明专利]使用超像素形式的倾斜镜面的光构图装置无效
| 申请号： | 200610077147.6 | 申请日： | 2006-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN1869820A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | N·巴巴－阿李;A·J·B·布利克;K·Z·特卢斯特 | 申请（专利权）人： | ASML控股有限公司;ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王庆海;张志醒 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 像素 形式 倾斜 构图 装置 | ||
【权利要求书】：
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